質譜用氮氣發生器以空氣為原料，以碳分子篩作為吸附劑，運用變壓吸附原理，利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱PSA制氮。
分子篩對空氣中的氧和氮的分離作用主要是基于這兩種氣體在碳分子篩表面上的擴散速率不同。直徑較小的氣體分子（O2）擴散速率較快，較多的進入分子篩微孔。直徑較大的氣體分子（N2）擴散速率較慢，進入分子篩微孔較少，這樣在氣相中可以得到氮的富集成分。
因此，利用分子篩對氧和氮在某一時間內吸附量的差別這一特性，由全自動控制系統按特定可編程序施以加壓吸附，常壓解析的循環過程，完成氮氧分離，獲得所需高純度氮氣。
質譜用氮氣發生器對色譜的影響有一點常常被忽略，就是發生器內的開關電源工作會對電網電壓造成一定的干擾（壓縮機的啟動和停止也會），所以色譜儀必須經過穩壓電源供電，當然不用穩壓電源的用戶極少。
值得提醒的一點是：氮氣發生器只能在實驗室內或實驗室外很近的位置采集空氣作為氣源，而實驗室內空氣經常是受到污染的，其中的有機溶劑含量因為實驗前處理過程等原因（此外GC的洗針溶劑揮發，液相的流動相揮發）不可避免的超標。
質譜用氮氣發生器與傳統制氮法相比，它具有工藝流程簡單、自動化程度高、產氣快（15～30分鐘）、能耗低。產品純度可在較大范圍內根據用戶需要進行調節，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應性較強等特點。
